搭载新功能的ECP ap设备可通过控制晶圆级电场来实现晶圆和芯片内更强的均一性,从而获得更高的产能。
作为集成电路制造与先进晶圆级封装(WLP)领域中领先的设备供应商,盛美半导体设备(NASDAQ:ACMR)近日发布了三款用于晶圆正、背面清洗工艺的Ultra C湿法清洗系列设备。
盛美首台立式炉产品首供LPCVD市场,未来将推广至氧化,退火和ALD等目标市场;该设备展示了中韩研发团队合作新成果
先进封装级无应力抛光技术为晶圆级封装硅通孔和扇出工艺应用 提供了替代化学机械抛光的环保的解决方案
SEMICON China 2019期间,盛美半导体设备(上海)有限公司(以下简称:盛美半导体)发布了三大新产品,分别是镀铜设备Ultra ECP map Tool、抛光设备Ultra SFP-Advanced Packaging、清洗设备Ultro C- Tahoe。