半导体行业观察：Richard Gottscho博士的观点则是：虽然面临着各种挑战，但摩尔定律将一如既往得有效。
半导体行业观察：经过多年研发，几家晶圆厂设备供应商终于在去年推出了基于原子层刻蚀（ALE）的下一代蚀刻系统。
原子层刻蚀大批量生产在即" />
