英特尔的EUV计划尚未明朗
当年为了摩尔定律(Moore's law)的延续,让半导体先进制程可以继续发展下去,在荷兰半导体设备商艾司摩尔(ASML)发展光刻设备不顺利,缺发资金之际,包括英特尔、台积电、三星都相继投资了艾司摩尔。如今,在艾司摩尔发展已经上轨道,极紫外光光刻机(EUV)也陆续出货,股价由当时的每股40 欧元涨到当前接近150 欧元之后,继台积电、三星之后,英特尔也再次出脱艾司摩尔的股票。虽然,英特尔是否会用上EUV 设备还未定,但是出脱股票却让荷包赚满。
时间回到2012 年7 月,当时英特尔宣布向艾司摩尔投资33 亿欧元(约合当时41 亿美元),以协助其开发EUV 光刻设备及18 吋晶圆。第1 期目标是英特尔投资5.53 亿欧元(约当时6.8 亿美元) 协助艾司摩尔开发18 吋晶圆制造工具。同时,英特尔也以17 亿欧元(约当时21 亿美元) 的代价,收购艾司摩尔大约10% 的发行股票,使得英特尔最终持有艾司摩尔的股权比率达到15%。
而随着英特尔的投资艾司摩尔之后,台积电与三星也响应艾司摩尔的「客户联合投资专案」(Customer Co-Investment Program),也和英特尔相同的方式,就是一部分现今提供,一部分购买股权的方式,台积电方面购入了约艾司摩尔5% 的股权,三星则是买下了约3% 的股权,同时成为艾司摩尔的策略投资股东。而3 家公司当时投资艾司摩尔,都是以协助发展光刻设备为目标。所以,到后来才有在先进发展制程中,3 家公司可以领先其他业者,首先获得EUV 设备的传闻。
如今,在艾司摩尔发展EUV 设备逐渐上轨道之后,3 家投资艾司摩尔的股东也陆续出脱手中的持股。在三星与台积电分别出脱艾司摩尔的持股之后,英特尔进行股份处分的动作。英特尔在2017 年6 月份的时候,还持有10% 的艾司摩尔股票,2017 年底首次处分到5% 以内。日前英特尔又一次处分了艾司摩尔的股票,使得持股比率更降至3% 以内。
虽然,英特尔处分艾司摩尔的股票,就当时的买进价格约每股40 欧元,到现在已经涨到每股接近150 欧元来说,绝对是个大赚钱的投资。不过,对英特尔来说,似乎真正的意义并不在此。因为,相对于台积电、三星来说,英特尔从1997 年就开始进行EUV 设备的研究。因此,市场原以为特尔会领先其他竞争对手,最早推出EUV 技术制程。但事与愿违,如今台积电与三星都遥遥领先在英特尔之前。
根据艾司摩尔所提出的2018年第2 季财报指出,当季EUV 设备的出货量是4 部,比预期的数量多了1 部,而且目前手中还有7 部的订单。整个来说,2018 年预计的出货量将达到20 部,2019 年将达到30 部,而这些设备大多数都是由台积电或三星所订购。而格罗方德(Globalfoundries)与中国中芯半导体都各订了1 部,都是要用于7 纳米制成的研究用。但是,如今格罗方德宣布退出7 纳米及其以下先进制程,正在寻求该部EUV 设备的退货及转售。
而就艾司摩尔的财报来看,英特尔究竟有没有订购EUV 设备并不清楚。只是,即便有购买,可以肯定的是数量也不会多,而且只是用于研究上;因为就目前规划的时程,英特尔的10 纳米制程最快有可能在2019 年中推出。而如果顺利的话,7 纳米制程则要到2020 年亮相,2021 年才会投产。不过,在目前英特尔制程进展仍面对许多瓶颈的情况下,届时是不是能顺利推出还是个问号,而是不是能使用上EUV 设备就更是难以确定了。
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