美巨头曾搞小圈圈排挤台积电?林本坚挖内幕

2022-01-03 14:00:22 来源: 半导体行业观察

来源:中时新闻网


近几年,台积电坐稳晶圆代工龙头老大,在先进制程超越三星、英特尔等对手,后来在 EUV(极紫外光)量产也领先,技术上弯道超车英特尔。但台积电前研发副总、浸润式微影之父林本坚日前回忆一段往事,提到台积电早年发展相当艰辛,2002年英特尔号召业界成立EUV LCC联盟,台积电也想加入,但当初只限6家厂商,最后一个名额被IBM抢走,台积电就被排除在外,不过台积电转往浸润式微影技术发展,后来EUV 量产领先,甚至超车当年成立联盟的英特尔。
财讯快报报导,林本坚日前受访时表示,2002年英特尔拉拢摩托罗拉、AMD等公司成立EUV LCC联盟,希望大家共同出资研发EUV设备,并应用于未来的40nm与60nm。
当时台积电也希望加入EUV联盟,但因当初只限定6家厂商,IBM抢走最后一个名额,台积电无缘,而被排挤在外。
林本坚表示,台积电无法参与EUV联盟,只好自己想办法,转而研发浸润式(Immersion)微影技术,直到近几年的5nm制程,才采用艾司摩尔的EUV机台设备。
当年EUV联盟的半导体企业中,除了英特尔之外,其他5家已退出芯片制造,而截至目前为止,英特尔尚未进入EUV量产,从先进制程技术来看,台积电反而大幅超前,稳居全球晶圆代工一哥宝座。
对于台积电来说,现年79岁的前研发副总经理林本坚是台积电先进技术跃进重要推手,他在IBM工作22年后,选择在美国自行创业将近10年,2000年在蒋尚义力邀下,加入台积电团队,并在2002年开始推动浸润式微影技术,此项技术对全球半导体产业及台积电先进制程贡献极大。

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