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2020(十二届)传感器与MEMS产业化技术国际研讨会（暨成果展)11月26-27厦门海沧圆满成功

2020-12-16 17:19:32 来源: 互联网

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11月26-27日，由中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室、中国电子学会传感与微系统技术分会主办，由厦门半导体投资集团有限公司、上海龙媒商务咨询有限公司承办的“2020(十二届)传感器与MEMS产业化技术国际研讨会（暨成果展)”在中国厦门海沧正元希尔顿逸林酒店圆满结束。本次论坛邀请到全球MEMS领域30多位顶尖企业和科研代表出席演讲。共31个专业报告，分别是厦门市海沧区领导、厦门半导体、阿里巴巴、Bosch、清华大学、郑州炜盛、意发薄膜、霍尼韦尔、上海微系统研究所、豪威科技、厦门云天半导体、杭州士兰微、苏州晶方、敏芯微电子、苏斯贸易、厦门海恩迈、MCF科技、Yole、日本东北大学、应用材料、北京赛微电子、巨哥电子、东南大学、电子科技大学、上海傲睿、武汉大学、上海迈铸、北京大学、矽睿科技、北京纳米能源，其中两位国外嘉宾以视频方式演讲。

“传感器与MEMS产业化技术国际研讨会（暨成果展)”举办十二届以来，参会人数又一次创新高，全场座无虚席，【MEMS国际会议】已连续在厦门海沧举办三届。参会者来自主管单位、企业负责人，政府机构、各地同行协会、投资机构、证券和高校、科、研、院所等有关领导和专家、以及MEMS & 传感器、IoT上下游产业链的企业研发负责人和决策人、行业媒体等，共400多专业人士与会。

中科院上海微系统与信息技术研究所李昕欣教授大会主席主持开幕式

厦门海沧台商投资区管委会副主任章春杰致欢迎辞

王汇联，厦门半导体投资集团有限公司董事总经理

王总以《“诗和远方”——探寻中国半导体产业发展路径》为主题，在会议中特别提到规模化商业市场和产品集中度形成了当今的产业发展模式和全球化产业分工早期的IDM。以80年代后期中国台湾形成的代工模式Fabless来说，产业发展初期以Fabless运营是较为合理的方式,但随着我国市场快速增长、技术演进、驱动产品多样性、发展多形态等因素，代工模式已开始制约我们的发展，特别是模拟、MEMS、功率、化合物等产品领域；此外随着中美战略竞争加剧，国产化空间较大，围绕Foundry标准工艺支撑的产品研发局限性较大，特别是依赖工艺技术、器件结构支撑的产品，也成为我们寻求突破的发展机遇，特别是MEMS领域。

葛伟高级技术专家，阿里巴巴阿里云IoT事业部

葛伟演讲题目“万物智能和HaaS积木化”物联网时代是一个万物互联的时代，而实体的物如何映射到虚拟的网络中呢？这依赖的就是各种传感器，也就是说，传感器是物联网感知物理世界的关键设备。但如果只有传感器，那么采集到的实际物理世界的数据也无法使用，所以必须将这些数据传输给我们的计算中心，所以另一个关键设备就是联网传输设备。在我们实际项目的开发过程中，会根据项目的实际需求来开发出各种连接类的设备，这样导致了连接设备的碎片化，所以我们提出了HaaS的理念，让硬件也成为一种服务，可以按需使用，可以极大地降低物联网项目的开发成本和周期。

林霖，传感物联事业部产品经理，霍尼韦尔

林经理演讲题目“医疗用传感器”讲述了霍尼韦尔传感与物联事业部所在集团及母公司情况，及其医疗器械行业市场驱动力。各类传感器在医疗器械领域的主要应用、核心产品及解决方案。

王宏宇, 亚太区总裁, Bosch Sensortec GmbH

作为全球领先的MEMS传感器供应商，博世传感器事业部亚太区总裁王宏宇出席了本次会议。王宏宇在演讲中首先指出，传感器发展大致分为几个阶段。第一阶段的MEMS浪潮由汽车驱动，这一阶段传感器的主要作用仅限于读取原始数据；第二阶段手机成为了主要驱动力量，这时的传感器可以进行评估数据，而现在IoT的出现，正推动MEMS传感器向下一阶段发展。毫无疑问，未来的传感器将具备更多的学习能力，变得更加智能。

不过需要注意的是，从用户体验角度来讲，如果将所有数据都放在云端进行处理的话，不仅功耗问题需要解决，同时还会出现数据延迟、数据隐私泄露等一系列问题。

那么如何解决功耗，并实现数据安全呢？王宏宇认为，边缘AI是传感器行业正在寻找的答案。顾名思义，边缘AI即指在MEMS传感器本身内部实现AI。

王宏宇指出，在边缘设备中运行AI算法主要包括四方面好处，第一是可以进行个性化定制，其次是用户数据的隐私保护，由于数据处理仅在边缘处理而无需上传到云，因此数据是私有的，第三是实时反馈，边缘执行可以避免数据传输带来的延迟，第四是本地处理可以延长电池寿命。

但边缘AI目前仍处于发展初期，博世传感器如何在这一方面布局，以及其下一步动作都值得我们期待！

任天令，清华大学信息科学技术学院副院长

任教授演讲题目“用于医疗健康的新型柔性器件”任教授在会议中概述了随着社会的发展，人口老龄化、青少年高危疾病和亚健康等情况日益严重，已成为影响人们健康和生活质量的主要因素。传统的医患面对面诊断模式已经不能满足人们日益增长的医疗保健需求，其在时间和资源的利用效率上还需要进一步提高，这给医疗行业带来了巨大的挑战。与传统的电子器件系统相比，柔性电子器件具有超薄、弹性模量低、重量轻、拉伸性能好等特点。在航空航天、消费电子、生物医学等诸多领域有着广泛的应用前景。在医疗健康检测和监测的柔性电子设备领域，监测人类活动中的各种信号已成为一个重要的学术研究方向。本报告将首先介绍近年来柔性电子技术的重大突破，然后介绍任天令教授团队在柔性电子技术方面的进展。最后，本报告将展望可穿戴柔性电子技术的发展前景。

杨志博产品工程师，郑州炜盛电子科技有限公司

杨志博以“红外探测类传感器的制造及应用”为演讲主题，讲述了红外测温传感器今年经历了前所未有的快速发展。报告首先详细介绍了红外类传感器的工作原理背景，列举了红外类传感器的不同种类。针对红外传感器的封装制造工艺进行详细阐述，并举例说明其应用领域。最后，对炜盛科技公司的各型号红外传感器和其他MEMS传感器进行了简单介绍，对MEMS传感器的发展前景进行思考和展望。

吴晓东,豪威科技全球销售及市场高级副总裁

豪威科技全球销售高级副总裁吴晓东在【MEMS国际会议】上演讲题目“探索世界，感知无限”,世界正在从传统的计算时代快速进入人工智能（AI）时代，而未来将进入感知时代。作为先进的感知末梢，图像传感器无处不在并改善着我们的生活。吴晓东特别指出，2020年图像传感器将以AI为爆发点。就目前来讲，CMOS图像传感器（CIS）主要应用在车载、安防监控和医疗影像领域。可以预见的是，传感器技术的跨界融合正成为行业发展的一个新趋势。

吴晓东表示，豪威科技正从“多点”进行超越，比如智能手机、汽车和安全领域。据介绍，该公司推出了业界首款带 LED 闪烁抑制功能的 830 万像素HDR + LFM的车规级图像传感器平台 OX08B、1.2微米大像素的旗舰移动图像传感器OV48C，以及业内目前唯一一款0.7微米小像素、分辨率6400万的图像传感器OV64B。豪威科技同时还通过医疗传感器为抗击疫情做出了相应贡献。除此之外，豪威科技也新增了TDDI、EVS和指纹识别相关产品线。吴晓东指出，豪威科技将不断加大研发投入，增强科技创新原动力。值得一提的是，根据日经上个月报道，豪威科技已获得美国商务部的许可，向华为供货部分产品，这意味着华为手机及PC业务的图像传感器供应或有着落。

陆原博士，技术市场经理，Evatec China Ltd.

陆博士在【MEMS国际会议】上的演讲题目“与时代同频——Evatec的先进BAW/SAW滤波器技术介绍”近年来，5G通讯成为越来越多人谈论并且使用的技术，不仅在日常的手机，电脑，并且在我们的电脑，智能汽车，医疗等领域也正崭露头角。作为信号的收发模块，在5G中应用的高频滤波器需要更快的速度，更广的带宽和更小的损耗。据估计，在旗舰手机中最多会集成数十乃至于上百只滤波器来适应不同的带宽。这就需要使用高精度和高性能的半导体材料来加工。Evatec作为一家有70年工艺经验的公司，在体声波和声表滤波器的薄膜生长都有标杆级的工艺，确保滤波器的高性能和低温度漂移特性，在这次的报告中，隆重的推荐最新的体声波和声表的薄膜工艺技术。

闻永祥工艺技术总监，杭州士兰微电子股份有限公司

士兰微电子工艺技术总监闻永祥在【MEMS国际会议】上分享了该公司有关MEMS的制造能力和技术，以及IDM模式的技术优势。其中,闻永祥指出，士兰微电子的MEMS产品生产坚持IDM的运营模式，拥有完整的设计、制造供应链，独立的研发中心，以及芯片生产、封装测试工厂，电气实验室和EMC实验室等。自1997年成立以来，士兰微电子已成为国内规模最大的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的企业之一。

闻永祥表示，MEMS产品通过IDM模式运营，能够使产能得到保障、质量可控，提升新技术、新产品的性能表现。其次，MEMS的工艺种类有很多，相差也很大，一条生产线难以支持多种传感器的批量生产，而IDM模式则可以极大地控制成本，具备成本优势，进而能为客户提供最具成本效益的产品。另外，IDM模式使生产管理便捷，技术复用还可缩短产品上市时间。

杨云春董事长北京赛微电子股份有限公司

杨总在【MEMS国际会议】上演讲题目“建设基于强大共性关键工艺制造技术的世界级MEMS代工服务平台”重点讲述了MEMS器件（传感器、驱动器等）在现代社会具有广泛应用：从传统的航空导航、工业控制、生物医疗、矿源勘探、消费电子、安防监控，到目前火爆的5G&6G 高频通信、人工智能、无人驾驶、万物互联（IOT）。MEMS 产品种类已达数千种。这造成了许许多多与产品对应的“定制化”工艺制造技术。这对MEMS制造企业、特别是MEMS代工企业（foundry）提出了严峻挑战。赛莱克斯国际对MEMS产品工艺制造技术进行了系统性分析，归类。将各产品关键制造工艺萃取出来，并加以对比分析，进一步得到共性关键工艺。通过聚焦在这些MEMS共性关键工艺制造技术，进行研发投入, IP布署，逐渐建成模块化的大规模MEMS工艺制造体系。这些举措已见成效：继2018年被评为MEMS纯代工第2名后，赛莱克斯在2019年荣幸地被评为全球MEMS纯代工第1名。

王玮教授　北京大学

王玮教授在【MEMS国际会议】演讲题目为“基于柔性滤膜的液态活检技术”重点概述了基于Parylene微电子机械系统（MEMS）技术，研制了一种精密、高效、快速、灵活、操作方便、可控、薄的滤波器，简称PERFECT 滤膜。采用Parylene模塑工艺制备了大尺寸（>20 mm×20 mm）过滤膜，该膜含有2.5维（2.5 D）微孔阵列，具有超高的孔隙率（高达91.37%，设计孔径/空间为100μm/4μm）。所说的2.5D滤膜是因为所制膜的大面积和相对较小的厚度（约10μm）代表二维特性，而相邻孔隙之间的大厚宽比（10μm/<4μm）对应于局部三维特征。微孔阵列的大面积和高孔隙率实现了PBS溶液的过滤通量高达180毫升/分钟，而全血仅在重力的驱动下达到17毫升/分钟。同时，高机械强度得益于微孔阵列的2.5D结构，确保了高通量过滤过程中可忽略的孔径变化，从而实现高尺寸分辨率分离。此外，作为初步证明，这种2.5维Parylene C柔性滤膜对支气管肺泡灌洗液、痰液、胸膜液等肿瘤细胞进行了检测，结果表明，该过滤器具有良好的临床应用前景。