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台积电2nm被卡

2021-02-27 14:00:28 来源: 半导体行业观察

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为维持中国台湾半导体领先地位、应台积电2纳米量产计划需求，科技部竹科管理局提出「新竹科学园区宝山用地第二期扩建计划」昨（26）日闯关环评初审，但由于扩建后拟大幅增加水、电用量，以及应否送二阶环评的疑虑，审议结果要求补件后再审。

竹科管理局近年相继提出宝山一期、二期扩建计划，其中一期主要是供制程研发与先期量产，竹科管理局指出，由于目前竹科园区内已无适当用地，提供厂商设置新一代机台的量产厂房，维持中国台湾半导体领先地位，须提出二期扩建计划，以支应厂商迫切需求。

然而宝山二期将新增大量水、电需求，增加用水量约12万CMD（立方米／每天）、增加用电量约1,220MW（百万瓦），皆大幅超出现有总量管制，前次会议已引发环评委员及环保团体关注。

依据台积电发布最新进展，在提升制程回收水量上，新废水回收计划将在明年扩大导入目前兴建中的先进封测二厂第二期、先进封测六厂，扩大废水再生运用规模。

台积电目标是持续降低自来水用水量，旗下南科再生水厂计划3月完成主体建筑，安装系统、启动试产并持续调校，目标产出优于生产品质要求的再生水。

台积电因应水情吃紧议题，近日北中南部分厂区出动水车，少量载水支援提高用水调度弹性，同时开源节流，包含持续强化内部水资源管理，扩大再生水以及废水再生运用等。

依据台积电说明，2019年启动晶背研磨废水资源化计划，去年7月台积电先进封测三厂导入该计划，统计至今年1月，共计回收逾15,000公吨废水，成功产制30公吨工业级硅产品。

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