思达科技推出晶圆级光学器件老化测试系统

2020-11-17 14:00:22 来源: 半导体行业观察

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半导体测试领导厂商思达科技，今天宣布推出晶圆级光学器件测试解决方案——思达阿波罗Apollo WLBI。这款新系统是通过包括传统的电子量测，加上光学监控的高度平行量测能力和替换测试时间，满足5G光学器件的晶圆级老化测试需求。

思达阿波罗Apollo WLBI 全方位测试解决方案

思达阿波罗Apollo WLBI是先进集成的全方位测试解决方案，整套设备包含订制的模块化Apollo WLBI Per-pin SMU测试系统、Magic A200e探针台和垂直探针卡。Apollo WLBI可以从测试通道数量、电压、电流位准、静态或动态设定等等进行配置。由于每个Per-pin SMU有超过6000个通道，电压和电流范围不同，此系统可对每个通道进行寻源和监控，以确定被测器件随时间推移是通过或是失败。

思达阿波罗Apollo WLBI Per-pin SMUs测试系统

同时，探针台设计了热夹头，在平行器件老化循环可以具有高功率和800W的散热能力，使得器件在老化过程中，能够保持在工作温度的条件。探针台还包括了一个高温和机械稳定性的探针卡转接器（＞6000 pins），专利的真空密封界面，用在和测针卡进行恒定的电子和光学接触。高负载Z轴移台可在夹头上施加超过400公斤的探测力，且平面性变化小于10um，进而确保老化循环中良好的探测接触。