粤港澳大湾区首条6英寸MEMS传感器产线投入运营

2020-09-22 14:01:10 来源: 半导体行业观察

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随着生物医疗、人工智能、物联网、5G网络等新兴信息技术发展，传统制造业将会借助于新技术进一步转型升级。MEMS半导体传感器芯片在智能物联网时代中起到核心作用，智能传感器产业已成为推进传统工业转型升级的关键，这对粤港澳大湾区、乃至我国的经济发展、产业结构优化具有重大的战略意义。

据麦姆斯咨询了解，广州奥松电子有限公司6英寸MEMS半导体传感器芯片生产线正式投入运营，成功量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片，并为部分珠三角客户提供MEMS半导体芯片代工服务。该生产线的建成投产标志奥松电子成为华南地区领先的MEMS半导体传感器芯片生产基地，推动国内、特别是粤港澳大湾区的MEMS半导体传感器高质量发展奠定了良好的基础。

奥松电子斥巨资打造MEMS半导体芯片生产线，一期工程净化车间总面积约2500平方米，配置湿法清洗区、百级洁净度光刻区、千级洁净度镀膜区、千级洁净度刻蚀区、千级洁净度离子注入区及参观通道等。整个洁净车间安装了多套高性能风淋系统，对进入洁净间的员工或者货物进行彻底风淋除尘。

该生产线一期工程于2019年3月立项，2019年6月正式进入施工阶段。经过6个月的施工，生产线的基础设施已安装完成。2020年，多台步进式投影光刻机、双面光刻机、涂胶显影机、深硅刻蚀机、大束流离子注入机、PECVD、LPCVD、氧化炉、磁控溅射机、探针台、应力测试仪、全自动RCA清洗机等先进的自动化生产设备搬入，生产线正式投入运营。

奥松电子MEMS半导体生产线一期工程为500纳米MEMS半导体工艺制程，生产设备约占整个投资规模的70%。一期工程已成功量产出温湿度传感器、空气质量传感器、气体传感器、流量传感器、差压传感器等多款优质的芯片产品。根据规划，2021年二期工程将建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线；2022年三期工程将建成180纳米制程工艺MEMS半导体生产线；总项目全部建成投产后，每月流片规模将达到4万片，满足奥松电子自身需求及粤港澳大湾区各类MEMS半导体芯片的代工需求。

随着物联网时代的到来，珠三角经济区作为中国最重要的制造基地之一，一直走在时代的前列。《粤港澳大湾区发展规划纲要》政策落实后，广州作为广东省省会城市和经济中心、一带一路新亚欧大陆经济走廊主要节点城市和海上合作战略支点，优势地位不断得到提升。奥松电子立足广州，在MEMS半导体传感器领域打破了国外企业的垄断，实现国产替代进口，勇担历史使命，为粤港澳大湾区建设贡献自己的一份力量。

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