电科装备：离子注入机国产替代步伐提速

2020-06-17 16:43:29 来源: 电科装备

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6月15日，烁科中科信公司12英寸中束流离子注入机顺利发往北京某集成电路大产线。该台客户直接采购的设备如期交付，标志着国产离子注入机市场化进程迈向新台阶！

离子注入机是集成电路制造至关重要的核心装备，技术难度大，行业竞争壁垒高。

作为目前国内唯一一家全系列集成电路离子注入机研发、制造、服务于一体的供应商，北京烁科中科信公司始终致力于解决离子注入机关键技术自主可控难题，已形成中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等全系列离子注入机产品体系，具备高新技术企业、博士后科研工作站等资质，建立了符合SEMI标准要求的离子注入机产业化平台，年产能达30台，产品广泛应用于全球知名芯片制造企业，并获客户高度认可。

此次交付的12英寸中束流离子注入机，角度控制、剂量控制及设备工艺能力等方面的功能出色，整机性能达到国际同类产品水平。

北京烁科中科信公司技术总监张丛表示，追平主流只是开始，成体系实现国产替代才是目标。公司自主研制的离子注入机系列产品斩获了北京市科学技术进步一等奖等多项荣誉，在客户产线上累计跑片650万片，稳定支撑了客户量产。除此之外，还建立了一支专业化的售后服务团队，实行7*24 On Call响应机制，持续提升客户体验，加速国产化进程。

责任编辑：sophie

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