首页 > 设备材料 > 材料 > 正文

维特莱恩：让国产晶圆不再有技术屏障

2019-04-04 18:10:58 来源: 互联网

点击

近年来，在半导体产业，碳化硅（SiC）逐渐走入大众视野，并成为新材料领域中炙手可热的新宠。作为制造大国的中国自然不会错过这场“盛会”。日前，德国知名企业 World Trading Inovation WTI GmbH（WTI集团）与中国苏州优晶光电科技有限公司宣布，共同出资成立苏州维特莱恩科技集团有限公司，强攻SiC晶圆市场。

据了解，苏州维特莱恩科技集团有限公司注册资本5000万，总部位于苏州工业园区CBD核心“苏州中心”，该公司致力于新材料、新工艺、新装备的研发和制造，并可提供高端装备的升级、改造等成套的技术服务。公司在俄罗斯莫斯科、圣彼得堡、新西伯利亚、乌克兰基辅、亚美尼亚埃里温、德国慕尼黑等地设有联合研发中心，并与俄罗斯科学院、乌克兰科学院等各大高校、科研院所紧密合作，整合全球先进技术力量，随时随地为客户定制完整的解决方案。

据维特莱恩科技集团总经理、苏州优晶光电科技有限公司董事长丽莎·刘介绍，他们准备在未来三年内投资5到10亿元，在国内建设碳化硅产线。据悉，公司的发展目标是依托其电阻法碳化硅新材料设备和工艺，打造成为一家中国本土的大尺寸碳化硅材料集成制造商。

携手国外资深团队，合作共赢

由于有德国以及俄罗斯发明团队的技术支持，使得维特莱恩在大尺寸碳化硅领域有很广阔的发展空间。其新的大尺寸电阻法碳化硅生长设备和工艺，目前在国际上还没有大规模应用，也没有其它企业在使用这项技术，这可以说是该公司一个革命性的“绝活儿”。

丽莎·刘表示，优晶光电与俄罗斯的技术团队在晶圆方面有密切合作，他们国外的实验室也已经完全攻克了6英寸技术，而且包括设备、工艺也都还在不断地完善。

“工艺技术成熟和量产技术成熟是两回事，当工艺技术成熟以后，量产实际就是一个数字化复制过程，但复制期间出现的人员成熟性问题、机器稳定性、批量稳定性调试等问题，以及技术人员对该技术的熟悉程度问题，都需要一个磨合期”，丽莎·刘告诉记者。

另一方面是晶圆良率的技术数据收集，虽然我们的工艺已经完全成熟，但是十台跟一百台设备，成品良率数据是有很大区别的，需要时间和实践来推敲。为此，该公司正在和大型央企，以及一些知名民营企业合作，力求解决相关问题。

碳化硅属于新兴材料，我国很多相关科研院所及材料学专家都对这种材料有较多的了解，但是如何制造碳化硅，以及相关制造设备的获得是一大课题，我们在这方面的信息和技术一直比较匮乏。预计在未来一到两年内，将有很多材料学工程师、技术人员会把原来在其他领域的关注度和知识用于碳化硅的研究。

“正因为如此，行业对其应用还处于探究、测试阶段，仍需要一段时间摸索和研发，且需要和国外先进团队加强合作，这也是为什么我们维特莱恩由德国公司投资，且愿意出大量资金、物力、人力在这方面进行研发的原因”，丽莎·刘说。

未来，我们也会跟德国的慕尼黑大学，还有几家德国知名材料研究院合作，在碳化硅材料应用方面，不断加大投入和研发力度。这个市场会不断扩大，还将出现一些新应用。在未来的一到三年内，我们会推出新的碳化硅产品，丽莎·刘进一步指出。

为中国第三代半导体的未来而奋斗

据丽莎·刘介绍，维特莱恩目前主要致力于新材料，新工艺，新设备。未来会通过该公司联合实验室里的新技术实现产业化。还要把德国和俄罗斯的技术，按照中国市场的需求打造成一个平台，将相关的产品和技术做大做强。因为我们国内现在不缺资金，不缺市场，也不缺应用，缺的恰恰就是技术。

因为看到前苏联有很多年逾七八十的老科学家、老研究者在其一生的研究生涯里积累了很多技术。但在俄罗斯本土，很难找到让他们去把这些技术发扬光大，并生产出量产产品的渠道，这样就会导致他们一生的心血被浪费，而这些研究成果恰好也正是中国市场所需要的，但如果一切都从头开始，又要耗费巨大的人力、物力和财力，还要重新走一遍弯路。

“所以我从回国的那一刻开始，就谋划着如果能通过其资源、人脉，把他们引进来的话，也算是对国家做出了一些微薄的贡献”，丽莎·刘说。

但她也指出，虽然我国在碳化硅领域已经有了一定的技术经验积累，但国内厂商的产品相似度较高，很少敞开大门引进新技术。因此她认为，无论是公司或科研院校，都应该引进各种先进的实用技术。

“电阻法碳化硅技术发明人已经80岁了，他在上世纪70年代发明了碳化硅电阻法的Leti法工艺，我觉得现在机会来了，我们跟他的技术团队经过了多年的磨合，我们一定要让他的技术在中国发扬光大”，丽莎·刘说。

最后，丽莎.刘希望，维特莱恩愿与国内已有的感应法碳化硅晶体制造商共同进步，愿与碳化硅衬底加工商协同合作，愿与碳化硅半导体器件制造商一起努力为我国宽禁带半导体器件的充分应用做出不负时代的贡献！

责任编辑：sophie

维特莱恩碳化硅