林本坚17年前的勇敢决定,造就台湾最大半导体聚落

随着未来台积电最先进的 5 奈米、3 奈米先进制程在南科生产，南台湾将超过新竹、台中，成为台湾最大半导体群聚，占台积营收比重更将超过 50%。 这一切都要回到 17 年前，如果，当时的台积电副总经理林本坚抗压性弱一点，这些成果可能将不复存在......



金庸第一本小说《书剑恩仇录》有个武当派高手，外号叫「绵里针」，他是金庸创造的第一个人物，据说是拿报社专门催他稿的老编辑为原型。 是一个平时温文、但是一旦认真起来，即便天王老子也敢拚命的生动人物。

台湾科技业里头的「绵里针」，则非两年前退休的台积电前研发副总经理林本坚莫属。

中研院第一个产业界院士

林本坚是台积电，甚至整个台湾科技业的传奇人物。 当前全球半导体高阶制程所用的浸润式微影技术，便来自他的发明。 他也因此成为中研院第一位产业界出身的院士。

3 月 30 日，是他自传《把心放上去：林本坚的「用心则乐」人生学》的新书发表会。

书中最让旧识好友们津津乐道的一段，就是林本坚早年在 IBM 半导体部门做深紫外光微影研究时，公司的发展主流，却是另一项 X 光微影技术，不但人力资源远超过他的团队，而且，负责 X 光微影的主管，同时也是林本坚的顶头上司。 他在公司处境之尴尬可想而知。

但这位以好好先生著称，台积电部属十多年几乎没见他发过脾气的「Burn（林本坚的英文名字）爷爷」，竟不甘忍气吞声，以幽默的方式，公开与上司唱反调。
某天，X 光微影技术有了重大进展，他的上司发给每人一件 T 恤「X ray works」（X 光有用）以资庆贺，林本坚竟是在后面加了 3 个字，成了「X ray works – for the dentists」（X 光可用，是在牙医诊所），还 用磁铁挂在他办公桌后面的文件柜上，昭告所有路过的同事（值得一提的是，深紫外光，成了半导体过去 30 年的主要光源，X ray 则至今仍未商用化）。

形势比人强，林本坚还是在 50 岁，申请提早退休创业，并在 2000 年加入台积负责微影研发。


工作两年，就搞出大事

他到台积电工作两年，就搞出轰动全世界半导体界的大事。

当时业界主要微影光源──波长 193 奈米的雷射，性能已经难以持续推动摩尔定律。 而预计接棒的 157 奈米光源，因为种种技术难题，商用化时程一再延后，成为业界头痛的问题。

当林本坚在 2002 年，应邀到 157 奈米的业界研讨会，竟然以一个众人都没想到的技术──将既有技术小幅改良的 193 奈米浸润式微影为演讲主题，结果引起满场轰动。

把摩尔定律推进七代

一个日本、美国、欧洲设备厂投下百亿美元研发的技术，就因为林本坚一席话而被搁置。

当时是林本坚上司、台积电共同前营运长蒋尚义回忆，当时确实有设备大厂的高层主管表达严重关切，「希望我能管管他，不要搅局，」他在林本坚的新书序里写着。
林本坚的新书中，将「发明并推广浸润式微影，把摩尔定律推进了七代」列入自己在投影微影领域的八项贡献之一。

其中另一项，他在 IBM 工作时期完成的研究，「仿真机台震动队成像容忍度的影响」，看似不起眼，但对台湾科技业的持续发展，亦有巨大贡献。

一句话，让台积南科厂继续盖

时间回到 2001 年，当时台湾朝野为了高铁完工之后，以 300 公里时速呼啸而过产生的震动，会不会影响附近南科区内半导体厂生产，而争论不休。

当时台积的在南科已有一座六厂，十四厂厂房外观刚完工，但设备尚未搬入，便暂停施工。 「整个园区都有这困扰，要不要盖下去，不晓得怎么办？ 」林本坚回忆。

蒋尚义推荐林本坚加入台积内部的评估小组，因为他负责的光学微影对震动最敏感，他觉得没影响，其他部份理应也没影响。 他欣然同意，因为他在 IBM 做过过震动对机台影响的研究，正巧派上用场。

他做了详尽的实验，细细分析之后，得出结论：「没有影响。 」

「那个时候，假如我是为了保护自己，我会说不要做，就不盖了，绝对不会出事，」林本坚说，「我说可以做，（万一出事）就要负很大责任。 」
但他对于自己的实验结果与计算很有信心，结果显示，台积电厂址距离高铁震动影响最严重的地方，还有一段安全距离，「没有证据都支持我说没有不行，所有事实都是支持我说可以。 」

于是，在 2001 年 10 月底，台积电出乎意料的宣布，经过该公司针对高铁振动问题的项目小组评估，「确认在妥善的工程技术之下，未来高铁行经南科附近时所带来的振动对该公司集成电路生产不致造成影响。 」



▲ 南科已成为台积电未来十年的扩厂重点。

带动半导体群聚效应

台积电董事长张忠谋一声令下，原先停工的 14 厂复工。 纷扰一时的高铁震动争议，也因此烟消云散。 联电等其他半导体厂，也跟着在南科加码投资。

目前南科已成为台积电未来十年的扩厂重点，不但目前 16 奈米及 20 奈米制程均在南科生产，未来的 5 奈米、3 奈米先进制程也都将在此。 预计占台积营收比重，将超过 50%。 预计员工人数超过 1.4 万人，带动的群聚效应、投资外溢效果更远超过这些数字。

而这都来自这个眼神专注安定的半导体大师，当年一个勇敢的决定。

问林本坚，为何这段轶事没写进自传。 他莞尔一笑：「这小事。 」