KLA-Tencor：制程控制在源头

制造工具是决定圆晶良品率的关键，工具在沉积，蚀刻或清洁过程中有可能受到微粒物污染，这些颗粒物会从上一个生产步骤流入到下一个生产步骤，工艺不一致使得圆晶的特征形状，覆盖层和CD（特征尺寸）有偏差，从而导致大范围缺陷。给定类型的工艺工具可能彼此不匹配，继而在通过不同工艺工具生产的圆晶之间产生差异，所有这些问题都会影响产量。

上述的制造过程所造成的差异会成为一个很麻烦的问题，如何理解这个困境？

KLA-Tencor有着自己的理解。

制程控制在源头

 

作为全球领先的工艺控制专家，KLA-Tencor成立于1976年，拥有广泛的产品线可覆盖整个半导体生产过程的检测与量测需求，帮助客户应对不同应用、不同市场的挑战。比如对低功耗、高靠性有高要求的移动设备，争取更快的面世时间是赢取市场的最重要因素，这就要求生产过程中的误差最小化。”KLA-Tencor Customer Engagement副总裁Mark Shirey在11月10日于上海举办的媒体会上如是说。

“为获取更大的良率与利润，制程控制在源头至关重要。”

比如有两台打字机，型号价格外观都一样，但因装配环境，零件精度等因素会导致手感有细微差别，因此即使是相同型号的EUV光刻机，有了正确的配置文件，强度恰好的光源，一致的稀有气体纯度，也需要做一些后期工作保证生产结果相同。换到10、7nm工艺制程的半导体产品上，只要在生产时有个1、2nm的差错，都有可能造成不可估量的损失。

制程的每一次升级，制造难度都是呈指数级上升，现在我们听到的工艺名词最多也只能去到3nm，这是因为到了3nm节点上EUV光刻的随机性将增大，很难控制好EUV线宽边缘粗糙度（LER），影响CD和EPE。

随着闸极越做越小，制程线宽不断升级，由10年前的90nm，65nm一直升级到现在的14/16nm，10nm甚至7nm，摩尔定律都在有条不紊着指挥半导体行业前进的路线。但是随着源极和汲极之间的距离越来越短，半导体工艺的极限逐渐显露出来。大多数人都发现了，升级到10nm和7nm所遇到的困难不是捂个被子睡个觉醒来就能解决的，因为除了技术原因还有诸多逐渐浮现出来的不可控因素。

同时摩尔定律也会在这个节点附近失效，接下来就是1nm以下的次纳米新技术和新材料的天下。

Mark Shirey表示：”不能发现就不能解决问题，不能量测就不能控制。针对以上三大问题，KLA-Tencor都有整套应对方案。”

KLA-Tencor最近就推出了5款图案成型控制系统，主要针对7nm以下的逻辑和尖端内存设计节点设计，以帮助芯片制造商实现多重曝光技术和EUV光刻所需的严格工艺宽容度。

这五款产品分别为ATL叠对良测系统和SpectraFilm F1薄膜量测系统，他们可以针对FinFET、DRAM、3D NAND和其他复杂器件结构的制造提供工艺表征分析和偏移监控。Teron™ 640e光罩检测产品系列和LMS IPRO7光罩叠对位准量测系统可以协助掩模厂开发和认证EUV和先进的光学光罩。5D Analyzer X1先进数据分析系统提供开放架构的基础，以支持晶圆厂量身定制分析和实时工艺控制的应用。

加大对中国市场的投资

 

从研发、生产、销售到技术支持，KLA-Tencor坚持与中国半导体产业一起成长。而且张智安总裁表示，KLA-Tencor早早已经进入中国，进行研发、建设工厂，在过去10年一直在等待中国半导体市场的机会。

KLA-Tencor非常重视中国市场，即使在产业成长放缓的时候，KLA-Tencor仍在中国持续投资以实现进一步的发展，并体现了中国在全球半导体产业重要的战略地位。良率，一直为半导体行业最大的挑战之一，KLA-Tencor透过半导体检测与量测技术，透过最快的速度以最有效的方式，帮助客户解决在生产时面对的良率问题。KLA-Tencor立志于帮助中国客户一起提升良率，降低生产成本，提高生产效率。

半导体行业从过去由服务器、个人计算机、互联网、手机的带动下，未来可以预见的是个物联网的时代。也就是过去这些帮助半导体行业成长的动能，将在物联网时代一并迸发。从硅片产能成长来看，2000年到2014年主要都还是由计算器及智能手机驱动，每月硅片产能约在600万至800万片。现今，物联网应用已快速成长，生产技术节点则横跨90至20纳米，这对于中国半导体市场是一个非常好的机会，中国半导体行业在这些技术节点也具有相当优势。

目前，KLA-Tencor在中国已经设立了10处办公室，近期又扩展了其位于北京的办公室，希望能快速、及时地支持本地客户的需求 。

此外，KLA-Tencor近期还上线了其中文网站（www.kla-tencor.cn）, 该网站将同步KLA-Tencor的美国网站，定期更新各类最新的功能以及技术信息，以更好服务中国的客户。KLA-Tencor 中国区总裁张智安表示：“今后，我们会持续投入中国市场。全力支持中国半导体行业发展。我们相信未来的中国市场会有很好的发展前景，中国的半导体产业正在向好的方向发展。”

文/半导体行业观察 刘燚

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