半导体 FTIR 外延膜厚量测设备实现新突破!

2024-09-18 15:47:29 来源: 互联网
9月14日,盖泽华矽半导体科技(上海)有限公司(以下简称:盖泽半导体),两台自主研发的FTIR膜厚量测设备GS-M08X,正式交付两家客户。同日向两家头部半导体客户交付外延膜厚量测设备,实属业界罕见。
 
图1:两台GS-M08X设备揭幕
 
图2:两台GS-M08X设备出机
 
作为一款量产设备,该机种基于FTIR红外光谱技术,可以精准测量晶圆中多层外延层的厚度,提供高精度的量测结果。设备装配了双臂洁净机械手和全新设计的Stage平台,以及自主研发的光路系统及算法,能更大程度上兼容客户应用场景,也让测量效率大幅度提高。增加了Online在线技术,遵循SEMI标准协议,可无缝连接客户OHT/MES等系统。同时,设备实现测量自动化控制和自动化运行功能,降低人力成本,提高生产效率。
 
图3:GS-M08X膜厚量测设备
 
致盖泽工作者的风雨数载
 
小小芯片堪称21世纪的“国之重器”,20年盖泽研发团队投身半导体研究,立志成为国产半导体量测设备“拓荒者”。他们来自浙江大学、复旦大学以及各大海外院校,为了各自的理想,投身半导体研究事业,而半导体膜厚量测领域中国还是一片空白,这是一项面向未来的工作。
 
盖泽半导体团队,在研发初期就经历了,疫情背景下的挑战。
 
随着新冠疫情的爆发,全球供应链受到严重冲击,零部件短缺、物流受阻等问题接踵而至。盖泽科技作为一家专注于半导体前道量测设备研发的企业,其团队面临着巨大的压力。面对挑战,盖泽科技的团队对各项环节进行了全面的风险评估,并制定了详细的应对措施。在零部件短缺的情况下,研发团队积极寻找替代产品,确保关键零部件的稳定供应。同时,他们还优化了生产工艺,提高了部件的利用率,降低了生产成本。
 
然而,疫情带来的挑战远不止于此。随着疫情的持续蔓延,部分地区实行了隔离风控管制。这对研发团队来说无疑是一个巨大的打击,因为半导体研发需要高度协同和紧密合作。面对疫情的持续蔓延,公司高层经过深思熟虑,做出了一个艰难而勇敢的决定——实行研发工厂封闭管理,确保员工的安全与健康,同时维持研发的稳定进行。这一决定迅速得到了全体员工的积极响应,大家纷纷表示愿意共克时艰,携手度过这段特殊时期。此时此刻,这不仅仅是一个研发团队,更是一个充满梦想、团结与坚韧的大家庭。
 
回顾这几年来的风雨历程,盖泽科技团队深刻体会到了团结协作和不屈精神的重要性。
 
研发,困于重重险峰之间
 
半导体行业属于典型的资本密集型产业,具有重资产属性。产品在产出之前的研发阶段往往都要经过漫长的性能和良率的爬坡,时间甚至长达数年。近年来,我国半导体行业发展从无到有,从市占率为零到打开一个缺口,从技术差距多年到慢慢缩小差距。
 
盖泽团队的结构设计就像是构建一座精密的大厦,需要从无到有地规划每一根梁柱;算法优化则如同在错综复杂的迷宫中寻找唯一的出口,需要不断尝试各种路径。尤其是在测量膜厚精度这个关键指标上,外延膜厚度的要求近乎苛刻,那是一个极其微小的数值范围,任何一点点误差都可能导致晶圆后续制备的失败。研发过程就像是在荆棘丛中开辟道路,困难重重,正入万山圈子里,一山放出一山拦。
 
为工业中国而斗争
 
1949年初,中国制造遭遇诸多“卡脖子”难题。此时,毛主席提出“为工业中国而斗争”的理念,激励吾辈年轻人,努力奋斗,为工业中国只争朝夕!这也是盖泽的使命,不仅是口号,更被视为盖泽人的责任。盖泽团队将每一次失败视为通往成功的必经之路,将每一个技术瓶颈看作是成长的阶梯。今天,盖泽的两台FTIR外延膜厚量测设备同时交付给两家客户。这不仅是一次交付,更是一场属于国产化替代的胜利!在半导体行业内,能够同时完成两台设备的交付,绝非易事。它象征着国产设备在质量、效率和市场需求的多方面认可。
 
今年以来,人工智能(AI)、云计算等新应用拓展的需求推动,带动新一轮半导体增长曲线,全球半导体需求整体向好。在全球供应链重组和本土供求两旺盛的大背景下,本土半导体量测设备厂商迎来了前所未有的机遇。然而,全面实现国产替代仍然是一个长期且艰巨的过程。
 
未来,我们期待盖泽半导体能够在技术突破和市场应用上取得更多成就,为缩小与国际先进水平差距、推动中国半导体产业的整体进步和全球竞争力的提升做出更大贡献。
责任编辑:Ace

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