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国产明场检测设备再上新台阶，天准科技加速布局

2023-08-09 14:55:49 来源: 李晨光

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近日，天准科技（股票代码：688003.SH）参股的苏州矽行半导体技术有限公司（下文简称“矽行半导体”）重磅宣布，其首台面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备TB1000正式交付客户。

伴随着这款产品的交付，矽行半导体创造了一个里程碑，这也是中国半导体前道缺陷检测装备产业的一次重大突破。

国产明场缺陷检测设备的新篇章

在半导体制造流程中，前道瑕疵检测是当之无愧的关键工序之一，尤其是明场缺陷检测，能够检测更广泛的缺陷类型，是其中最为关键的一环，是提高产品良率、降低生产成本、推进工艺迭代的保障。同时，明场缺陷检测设备也是技术难度最高的前道检测设备，一直以来被国外龙头企业垄断，而矽行半导体就是为了打破这个局面而生的。

矽行半导体的技术骨干全部来自国内外知名大学，博硕比例超过80%，拥有多年半导体行业经验，旨在打造国内乃至全球领先的半导体检测装备龙头企业。此次推出明场缺陷检测设备是矽行半导体实现的重要突破，也代表着中国在半导体光学检测设备领域迈出了更加坚实的一步。

TB1000实现了精密光机电关键核心部件的自主可控，同时采用了先进的信号处理算法，有效提高信噪比，显著提升了设备在关键制程的缺陷检测灵敏度。

对于天准科技而言，TB1000的面世，进一步完善了公司在半导体领域的产品版图。

天准科技的多路突围

天准科技致力打造卓越视觉装备平台企业，近年来不断加大半导体设备领域布局，是公司持续构建强大战略产品矩阵的重要举措。在2020年，公司启动收购德国MueTec公司，以提供包括Overlay量测、CD量测、宏观缺陷检测等多款面向前道晶圆和掩膜的高精度光学量测与检测设备。

天准科技和MueTec通过联合研发，积极推进其产品线技术升级，2022年成功推出面向更高端技术节点的Overlay产品并已交付客户。同时加强MueTec现有产品的市场推广，其高速全自动宏观缺陷检测产品Argos系列已获得知名客户的批量订单。

除收购MueTec以外，天准科技还推动成立了矽行半导体，布局挑战更大的半导体微观缺陷检测设备领域。

通过海外并购、战略投资和自主研发等多种途径，天准科技加快了在半导体前道量测及检测领域的布局，打造了包括晶圆微观缺陷检测、Overlay量测、CD量测、掩膜量测与检测和晶圆宏观缺陷检测等系列产品组合。

助力半导体设备国产化

尽管相较国际半导体设备龙头企业，国内半导体前道量测与检测设备公司在进入市场时间、经营规模、产品种类、技术发展等方面相对落后，但近年来国内半导体产业发展迅速，屡创佳绩的天准科技更是其中的典型代表。

未来，天准科技将充分发挥多年来在技术、人才和产品战略等方面的储备和先发优势，以实现技术全面突围，助力半导体设备国产化，建设国际一流半导体量测与检测设备公司。

责任编辑：sophie