ASML中国区总裁沈波：会继续在中国投入

每每谈到荷兰半导体供应商ASML的时候，大家首先想到的他们是全球领先的光刻机供应商。
 
诚然，受惠于过去数十年的研发和推广，ASML已然成为全球领先的光刻机供应商。尤其是在先进工艺必需的EUV光刻机上，ASML更是全球唯一的供应商。从公司最新财报也可以看到，2023年第三财季，ASML获得了67亿欧元的营收，当中约有52亿欧元来自公司包括EUV、ArFi、ArFdry、KrF和i-line在内的多种光源类型的光刻机。这足以证明ASML光刻机的布局广泛和市场影响力。
 
但其实除此以外，ASML还拥有计量和量测设备以及计算光刻产品，三者形成他们所谓的“铁三角”——ASML全景光刻解决方案。过去多年里，ASML正是通过这些领先产品，帮助芯片产业继续沿着摩尔定律指明的方向前进。



对芯片制造产业有了解的读者都知道，所有的ASML光刻机和设备都是摆放在晶圆厂的洁净室里，我们平常人很少会有接触的机会。为了帮助大家了解ASML及其生产的产品，ASML在今年的中国国际进口博览会，给大家准备了一场拥有丰富内容的介绍和分享。
 
芯片制造，光刻是核心
 
据介绍，芯片制造需要历经一千多道工序。作为一家量产的芯片厂，出产品的良率基本上要在90%以上，才能达到真正意义上的量产，并在商业化层面具有一定的竞争力。要想达到这个良率，需要对每一道工序的误差都做到非常精准的把控。因为在这一千多道工序中，任何一道工序有问题，最终都有可能影响芯片的合格率，这对于芯片厂是巨大的成本。
 
作为芯片制造过程中的核心步骤，“光刻”环节担负的使命是优化整个工艺流程的工艺窗口。“大家希望把芯片制造过程中的很多难题放在成像环节中解决，希望我们将这个重要环节处理得好一些，从而让工艺流程中的其它环节可以相对轻松地完成，所以说会把压力更多放在光刻这个环节上。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示。“我们希望能在光刻这个环节中将工艺窗口做得大一些，留一点余量给其他的环节，”沈波补充说。


 
如沈波所说，要把这个工艺窗口做大，不仅仅需要大家所熟悉的光刻机，其他的如量测设备和计算光刻，也是实现这个目标必不可少的两大工具。
 
首先看ASML最为人熟知的光刻机。
 
从技术原理上看，光刻机的原理与大家用过的投影仪相类似。只不过它是一个精度要求非常高的、而且处于不停运行状态下的、需要把精度控制到纳米等级的“投影仪”。其涉及的技术包括光学、机械、电子、自动控制，甚至有很多的材料和化学，这也正是光刻机技术难度大的原因之一。
 
其次看量测——一个保证芯片制造符合要求且不可或缺的工具。
 
芯片在生产的过程中，需要不停地收集数据和反馈信息，并根据需求调整光刻机，以确定当前的光刻机生产出来的芯片可以达到是客户设计时想要的效果。这是一个很闭环、非常精确，且非常困难的一个过程。ASML正在通过旗下的光学量测和电子束量测工具确保芯片生产的准确性。
 
再看计算光刻。据ASML介绍，计算光刻实际上是通过大量的数学和物理模型的建立来帮助客户在芯片开发和制造的时候设计出一个模板——也就是我们俗称的“光罩”。在实际设计中，它需要通过大量模型的建立把各种物理效应充分地考虑进去。
 
“我们的计算光刻和量测都是围绕光刻打造的，其目的是想后者做得更好。这也是我们把这个‘铁三角’叫做‘全景光刻’的原因。”沈波说。
 
不停投入，更好服务客户
 
借助这些领先产品和服务，ASML正在给全球的客户提供服务，当中便包括发展迅猛的中国市场。
 
据沈波介绍，自1988年将第一台步进式光刻机进入中国以来，ASML深耕中国市场已有30余年，公司也已经在中国16个城市设有办公室，还有12个仓储物流中心。公司的中国团队人员也从2018年的不足500人发展到今年年底的1600多人。ASML在中国的光刻机加量测机台装机量也将在年底达到近1400台。
 
2023年第三季度的财务数据显示，中国大陆贡献了ASML公司本季度46%的营收。
 

 
在过去的几年里，因为一些众所周知的原因，ASML在国内的业务受到了或多或少的影响。但对此，沈波回应道：“公司在中国会和过去一样，跟着这个市场的成长不断地投入。当中涵盖了团队的投入、备件领域的投入和产品开发方面的投入。”
 
“在合法合规的前提下，ASML会继续以领先的产品和服务支持全球客户，无论这个客户在哪里。”沈波重申。他同时表示，ASML明年会继续发展国内的人才队伍，以提高公司在国内的服务水平；公司接下来的工作思路也是更好地支持客户的发展，把客户的服务做得更好；公司在本土的服务和有些产品开发的能力这些年也是在逐步地加大和加强。
 
沈波举例说，今年ASML在国内推出了一版由中国团队开发的计算光刻软件。“这是ASML第一款由中国团队开发的贴合客户需求的产品，所以对我们整个团队，对ASML中国来说都是一件非常有意义的事情。”沈波解析说。
 
在问到对中国半导体产业的评价和发展意见时。沈波表示，这毫无疑问是一个极具吸引力的市场。他同时也指出，在当前环境下，中国厂商如果能把成熟工艺市场做得更具竞争力，会是一个更事半功倍的选择。他表示，从产业角度看，推动成熟制程拥有更强竞争力也意义重大。
 
从公开数据看来，中国厂商也的确走在这样的一条道路上。
 
沈波透露，中国目前在成熟制程这块的需求非常旺盛，当地的厂商也要求ASML把其过去两年订的货尽快发给他们。统计显示，ASML目前在全球积压的未交付订单已经超过了350亿欧元。
 
为此，ASML正在扩充公司的产能，以加快这些订单的交付速度。以DUV光刻机为例，根据ASML的规划，到2025年底或者2026年初，公司会将其产能从当前的300多台提升到500台到600台之间。
 
在ASML方面看来，公司这样做也能为将于2025到来的半导体行业产能爬升做好充分准备。
 
写在最后
 
沈波告诉半导体行业观察，相较于商业利益，ASML更关心行业如何才能长远健康发展，如何去解决面临的一个个技术挑战。因为如果不这样干，这个行业可能就会有很多人需要停下来等，这是一个很大的责任。因此ASML的员工一直都在自我鞭策，努力工作，努力推进技术的前进，帮助整个行业的发展。
 
“在合法合规的情况下我们以客户为第一位，只要客户需要我们，我们都会尽自己最大的努力去帮助他，这一点是不会改变的。”沈波重申。