来，送你一个光刻机手办

2022-01-28 14:00:04 来源: 半导体行业观察

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说到光刻机，半导体行业观察的读者一定不会陌生，制造光刻机的荷兰厂商ASML也是街知巷闻。

为了让大家对光刻机有更深刻的了解，ASML特意在这个新春之际策划了一场 “2022 追光开新年” 线上活动，希望能用游戏的方式，帮助大家了解光刻工程师的部分高含量工作。

其实作为光刻机领域的龙头，在推进技术、团队和行业进步的同时，ASML在过去一年多里还以各种方式给大家科普这个集成电路重要一环。如在2021年，他们打造的线上线下沉浸式互动体验“追光实验室”一把火出圈，就勾起了不少朋友对ASML光刻机的兴趣。

在我们看来，这是一个很有意义的游戏。

众所周知，光刻机是集成电路制造中最复杂、难度最高、价格最昂贵的核心设备，对芯片的工艺制程起着决定性的作用。光刻机实现了光刻中最重要的曝光过程，通过使未受光罩遮挡部分的光刻胶发生曝光反应，实现电路图从光罩到晶圆的转移。

所谓光刻，就是将高能雷射光穿过掩模版，形成的图案经过投影物镜聚焦成像在晶圆上。过去几十年里，为了帮助生产工艺更先进的芯片，ASML一直在“瑞利判据”公式的指导下，推动技术的进步和光刻机的演进。

图源自公众号：ASML阿斯麦光刻

（瑞利判据公式。其中：CD是线宽，即可实现的最小特征尺寸，λ是光刻机使用光源的波长。NA是光学器件的数值孔径，描述了它们能够收集光的角度范围。k1是一个系数，取决于与芯片制造工艺有关的许多因素，它的物理极限值是0.25。）

基于这个公式，在光源方面，ASML与合作伙伴一起，将光刻机光源从汞蒸气灯，往g-line、i-line，KrF、ArF和波长更短的光源推进。与此同时，镜头的改进、浸润式技术的发明、双工件台的亮相以及计光刻的出现，让芯片实现更小的“CD”成为可能。

能获得这样的成就，固然得益于公司深厚的技术积累，但归根到底是源自于公司对人才的培养。如在过去两年疫情的影响下，ASML还努力实现了良好的发展趋势。现在，ASML在全球各地的60个城市设有办公室，员工突破32000人。在过去近两年的时间里，就有超过6000名新员工加入了ASML。着眼中国，截至2021年底，ASML中国员工增加至1300多名。ASML同时还连续五年捐赠了国内的未来工程师大赛，助力培养优秀的青少年人才。

回到这个游戏，如下所述，在游戏中，你将面临三个关卡，闯关成功即可获得开盲盒的机会，就有可能抽到光刻机手办！闯关前，记得先输入身份信息哦！