线上直播 | MEMS器件开发：高效率L-Edit版图及定制工艺设计平台

2021-07-05 14:00:21 来源: 半导体行业观察

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当前高速发展的新兴市场，如物联网、5G、人工智能、无人驾驶、电动汽车、AR/VR等，催生了“超越摩尔（More than Moore，MtM）”领域的新器件和新技术，其中就包括了MEMS传感器。在MEMS版图设计过程中，MEMS尽管已经有很多成熟的IC版图工具，但若要高效应对MEMS版图带来的挑战，其中许多工具仍有些力不从心。MEMS版图编辑器需要具备能够应对任意形状和结构所带来的挑战的功能，曲面几何形状的影响及其采用的逼近方法会影响版图从编辑到布尔运算的方方面面。其关键在于要获取正确的工具，以便高效地操作从MEMS结构得出的曲面几何形状。

那什么样的版图工具可以满足特定形态的MEMS器件版图开发？针对MEMS器件版图开发中设计规则的验证如何完成？这些就是本次直播的重点内容。此外，直播还将涉及基于版图的三维模型建立，以确保设计仿真环节的模型和产线制造出的器件有更高的匹配度。

精彩看点·

针对MEMS器件版图的功能需求介绍
简单易懂的实例演示
从版图到三维模型的完整流程

如果你是MEMS研发工程师、MEMS产线工程师、定制版图工程师，或者正在学习相关专业课程，都欢迎你加入我们的直播，与技术专家在线交流。

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责任编辑：Sophie

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