华为哈勃投资北京科益虹源

2021-06-04 14:01:08 来源: 半导体行业观察

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据企查查最近消息透露,华为哈勃投资有限公司投资了中科院旗下的北京科益虹源光电技术有限公司。

据资料显示,北京科益虹源光电技术有限公司在国家大力推动科技成果转化的政策下于2016年7月成立,由中国科学院光电院、中国科学院微电子研究所、北京亦庄国际投资有限公司、中科院国有资产经营有限公司共同投资创立,注册资本12000万元人民币。公司是中国唯一专注且唯一具备高端准分子激光技术研究和产品化的公司。


据报道,2018年,科益虹源自主设计开发了国内首台高能准分子激光器出货。公司目前正承担“02重大专项浸没光刻光源研发”、“02重大专项核心零部件国产化能力建设”、“02重大专项集成电路晶圆缺陷检测光源”等国家专项。

2020年4月,北京科益虹源集成电路光刻光源制造及服务基地项目开工建设。据介绍,在一期建成后,他们将开足马力研发制造光刻准分子激光器、光刻机核心装备及关键材料验证线,并提供光刻准分子激光器翻新服务。

下一步,我们还将依托核心零部件国产化能力建设专项及核心关键技术的衍生转化,在徐州逐步落地一个集成电路产业上下游集群:特种高压电源、纳米晶磁芯、高能工业准分子激光器、直写激光器光源、集成电路检测光源等。”该公公司的项目负责人表示。

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