聚焦第十四届纳博会，行业厂商共论行业趋势与机遇

2024年10月23-25日，第十四届中国国际纳米技术产业博览会（简称“纳博会”）在苏州国际博览中心隆重召开。

本届纳博会由中国微米纳米技术学会、中国国际科学技术合作协会、国家第三代半导体技术创新中心（苏州）主办，苏州纳米科技发展有限公司承办，主要聚焦微纳制造、第三代半导体、柔性印刷电子、纳米压印、纤维/凝胶/影像材料、光电/激光、新型显示、分析检测、纳米应用等领域，汇聚行业专家、企业高管、工程师等重磅嘉宾，进行了充分交流与探讨。

在纳博会同期，设置了520个标准展位，展览面积达24000平方米，300多家展商参展，展示全球纳米技术领域最新技术产品和创新应用2200多件。会期三天，汇聚了2400多家纳米技术相关企业参会参展，累计到场参会观展嘉宾26278人。纳博会平台优势再次得到充分展现。

活动期间，半导体行业观察受邀到场，在多家国产厂商展台进行了参观、交流。

北京优利赛尔

北京优利赛尔科技有限公司销售经理王涛向半导体行业观察介绍，北京优利赛尔科技有限公司是瑞士Eulitha为支持中国用户业务增长需求，在中国成立的全资子公司，根据中国市场的实际需求，提供定制化的解决方案和本土化的技术支持服务。

Eulitha公司成立于2006年，凭借其创造性的位移Talbot光刻(DTL)技术，致力于为全球的光电用户提供周期性结构的高分辨大面积快速曝光解决方案。如AR波导、DFB光栅和VCSEL光栅等，提供具有成本效益和拓展能力的解决方案，以满足新兴光电技术的制造需求。目前客户已经分布在全球众多领域的顶尖科研院所和工业企业。

其中，位移Talbot光刻（DTL）是一种创新的多功能纳米加工技术，它利用Talbot效应产生周期性纳米结构。Talbot特效应描述了自成像现象，其中周期性图案在距离原始目标特定距离处再现。在DTL中，相干光源照射包含所需图案的掩模版，从而在光敏材料上产生纳米结构的干涉图案。

王涛介绍，DTL能够快速、大规模地制造复杂、高分辨率的纳米结构。这项技术在光子学、电子学和纳米医学等领域引起了极大的关注。其简单性、成本低和可扩展性使Eulitha的光刻解决方案成为旨在突破纳米技术界限的研究人员和制造商的一个有吸引力的选择。

同时，Eulitha公司还布局了PHABLE技术和光刻系统。

据了解，PHABLE技术代表了纳米制造领域的重大进步。这是一种尖端的基于掩模的紫外线光刻技术，与现有的基础设施（如光刻胶和光掩模）无缝集成，专为高产出、低成本的周期性纳米结构生产而不断优化。该技术利用了一种独特的非接触、接近UV光刻方法，可以在大面积上制备亚微米分辨率的图案。这对光子学和光电子等精度和可重复性至关重要的行业尤其有益。

PHABLE在不牺牲分辨率的情况下快速加工纳米结构的能力使其有别于传统的光刻方法。它的独特优势在于它能够生成具有显著焦深的光学图像，这是传统的接近、接触或投影光刻技术所没有的特征。这可以毫不费力地在非平坦表面上曝光，如LED晶片。

同时，PHABLE能够以高生产能力在大面积衬底上制备周期性结构，如六边形或正方形晶格的孔阵列，或线性光栅。该技术允许在单个芯片或晶片上同时曝光各种图案，类似于在硅片上曝光不同电路的方式。Eulitha在这项新技术上拥有很多的专利。

王涛表示：“我们的PHABLE光刻系统经过不断升级换代，可实现60nm线宽低成本高效率曝光；设备机型从UV到DUV，从桌面手动机型到12英寸大面积全自动曝光，满足科研到批量生产的各种应用需求。”

据悉，自2014年产品引入中国市场以来，已经建立了成熟的客户基础，目前已安装了几十套系统，正在科研及企业用户现场发挥重要作用。

针对在中国市场的规划布局，王涛强调，北京优利赛尔将继续扩大服务队伍，建立演示代工实验室，为用户从样品试制，到设备使用和图案拓展，旨在为客户提供全方位服务于支持。正如Eulitha公司所示：“成为卓越的光刻解决方案供应商，创新纳米光刻技术，提高光电产品性能和效率，释放光子器件潜力!”

“本届展会效果不错，见到了不少老客户，也挖掘到了新客户和市场需求”，王涛说道。

吾拾微电子

在吾拾微电子（苏州）有限公司展位上，公司CTO蔡维伽向半导体行业观察介绍了公司的超薄晶圆的临时键合与解键合方案。

据了解，吾拾微电子作为一家在半导体领域具有前瞻视野的创新型企业，专注于晶圆级键合解键合设备、键合胶及其配套材料的研发与销售，致力于为全球半导体客户提供一站式、高标准的系统解决方案，成功进入国内头部半导体企业的供应链体系。

当前，随着先进封装技术与3D 集成的飞速发展，该技术已成为面向大尺寸超薄晶圆的拿持与后道工艺加工处理的重要解决方案。因为在3D封装当中，晶圆尽可能薄是第一要素，因此在做晶圆级键合过程中，需要对每一层堆叠的晶圆做减薄处理。同时，存储器、逻辑器件、传感器和处理器、MEMS等不同类型的器件和软件的复杂集成，以及新材料和先进的芯片堆叠技术，都要基于3D集成技术，而这些都需要用到晶圆键合工艺。

蔡维伽指出，目前业界的迭代方都在往大晶圆厚度减薄方向发展，如50微米到100微米的级别。在紧随市场趋势的同时，吾拾微的产品将面向6英寸、8英寸和12英寸晶圆全面配套推广，为市场提供更加完善的解决方案。

面对行业机遇与趋势，吾拾微电子迎来新的发展契机。蔡维伽强调，公司始终坚持自主研发，凭借对半导体技术的深刻理解和持续创新，推动公司在国内处于领先地位，当前研发的晶圆键合解键合设备已成功进入国内头部半导体企业的供应链体系。

之所以能够实现领先身位和快速发展，蔡维伽表示，吾拾微电子拥有一支近20年晶圆级键合解键合经验的研发团队，从研究临时键合开始已有非常丰富的行业经验与基础，在业内较早掌握了技术Know-How。从最初仅能提供手动或半自动设备，下游客户仅仅愿意在个别特殊定制产品试用吾拾微产品，到目前能够提供国内比较顶尖的晶圆键合设备，这中间取决于跟客户的不断磨合，以及吾拾微电子在技术、产品研发方面的迭代与创新。

同时，在近年来“国产替代”的浪潮趋势下，吾拾微电子更是感受到了时代机遇：一方面，面对海外大厂产品供应存在不稳定风险，吾拾微电子在服务本土产业链方面具备天然优势和供应安全保障；此外，针对不同企业的差异化需求，海外大厂往往提供的是通用型设备，不一定会愿意为中小客户做定制化的设备或技术支持，且产品价格相对较高，吾拾微电子在技术支持和需求响应方面以客户为先，产品性能和经济性基本能满足需求，具备本土化优势。

综合来看，吾拾微电子具备天时地利优势，已经显现出领先优势和发展潜力。展望未来，期待吾拾微电子将在“务实”的理念中行稳致远。

果果仪器

在果果仪器科技（上海）有限公司的展位上，公司市场总监王琦向半导体行业观察介绍，果果仪器是一家专业从事测试设备的开发、集成和技术服务的公司，专注冷热控制技术相关的力学、电学、光学原位测试，为先进材料、半导体、新能源、生物医药、矿业等领域提供测试整体解决方案。

据了解，果果仪器目前已拥有小型温控设备、高低温冷热系统、电介质充放电测试系统、变温D33仪等，果果仪器支持定制开发，定制接口和支架，兼容不同仪器设备，满足客户的特殊需求。

在纳博会展位现场，果果仪器展出了光学冷热台CH600S、超高温热台H1500T、超高温探针台H1000、SEM原位拉伸超高温热台等产品。其中，全新自主研发的SEM原位拉伸超高温热台，该产品是在SEM(扫描电子显微镜)下的一款研究样品在变温条件下进行应力应变测试的产品。SEM原位拉伸超高温热台采用电阻加热的方式，实现RT~1200℃范围内精准控制；温度稳定性可达±0.1℃（＞1000℃：±0.5℃）；拉力量程：0~5000N，具备较强优势。

超高温热台H1500T则是一款针对研究样品变温光学性能测试而设计的产品。据了解，该产品可表征样品光学性能随温度变化的特征。该产品采用电阻加热的方式，实现RT~1500℃范围内精准控制，与其他光学设备搭配集成，进行变温原位测试。

此外，针对半导体行业，果果仪器的主要产品是晶圆加热装置。王琦表示，该装置在半导体制程过程中非常重要，特别是在一些关键工艺中，如晶圆退火、键合、匀胶、刻蚀、气相沉积等，它可以提供稳定的温场环境及精密的盘面均匀温度，确保晶圆在各种温区中的加热要求，从而实现半导体器件的制造和研发。

相较于行业同类产品，果果仪器该设备的优势在于能快速升温、温度均匀、控温稳定以及多温区可调等，能满足更多客户的实际应用需求。

作为一家专业的科研设备及测试技术服务商，果果仪器一直秉承“不断创新，为科研保驾护航"的品牌理念，为科学研究提供前沿、优质和性价比的产品、服务。拥有多学科的专业研发技术人员，具备丰富的软硬件开发经验和开发能力。据悉，公司产品已销售至清华大学、上海交通大学、西安交通大学、中科院、南方科技大学、华为等一百多所科研院所和企业，获得业界广泛好评。

在本次采访中，王琦不仅向半导体行业观察介绍了果果仪器的发展历程和产品优势，还描述了公司未来的发展规划。王琦指出，公司接下来将注重调研市场和客户需求，对此有针对性的开发相应产品，寻找大规模产业化场景，将公司产品与技术优势落地到实践中，为行业赋能。

结语

纳博会自2010年举办首届以来，已连续成功举办14届，是苏州乃至国内纳米技术应用产业发展最好的缩影，目前已成为国内最具权威性、影响力、规模最大的纳米技术应用产业领域国际性展会之一。

整体来看，纳博会不仅为参展企业提供了展示最新技术和产品的平台，更为企业观众搭建了合作交流的重要桥梁。通过精心策划的展会布局和多样化的活动安排，纳博会成功地将来自不同领域、不同背景的企业和专业人士聚集在一起，深入交流思想、探讨技术、分享经验，从而建立起宝贵的合作关系。

展望未来，纳博会将继续发挥其在纳米技术领域的影响力，推动纳米技术的创新与应用，为全球纳米产业的发展贡献更多力量。