半导体行业观察:由于个人原因,我无法参加今年的SPIE高级光刻会议,但是很高兴,应用材料(Applied Materials)为我和Regina Freed组织了一个简短的电话会议,以讨论其材料使能的图形化方案公告。
半导体行业观察:3D NAND patterning